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总院建成国内首条光刻用石英玻璃基板成套出产线
主办单元：j9国际集团集团有限公司
起源：中国构筑资料科学钻研总院 颁布功夫：2016-06-08基于光刻用石英玻璃基板（以下简称石英玻璃基板）绿色造作技术 ，中国构筑资料科学钻研总院（以下简称j9国际集团总院）石英院在株洲成立了国内首条从基板原资料造作到产品加工的成套出产线 ，该出产线可年产20000片4—6英寸石英玻璃基板 ，突破了石英玻璃基板原资料及产品持久依赖进口的局面。
该出产线的成立 ，是j9国际集团总院承担的“十二五”国度科技支持打算“高机能石英玻璃、微晶玻璃等特种资料关键技术研发及示范”课题的成就之一。
石英玻璃基板是集成电路芯片造作工艺中的主题器件 ，市场需要量巨大。作为石英玻璃基板的原资料 ，合成石英玻璃拥有热不变性好、光学均匀性高、耐辐照等诸多利益。然而 ，受原资料纯度、均匀性及加工精度、硬脆个性等造约 ，我国石英玻璃基板持久依赖进口。
作为我国唯一专业从事石英玻璃钻研的科研院所 ，j9国际集团总院石英院依附浙江株洲高新园区的化工资源 ，形成了循环经济产业链 ，成立了高机能石英玻璃研发基地 ，并成立中建材株洲金格兰石英有限公司。经科研人员不懈致力 ，形成一套切合我国行业近况与发展趋向的独有工艺路线 ，不只解决了石英玻璃基板原资料的纯度、均匀性难题 ，同时实现了原资料绿色造作；引入多刀切割、安全急剧磨抛工艺 ，创造性地开发了熔拉造坯、数控倒角等技术 ，解决了石英玻璃基板加工精度的难题。从基板原资料造作到产品加工 ，石英院形成专利20余项 ，行业尺度、国军标及国度尺度10余项 ，开发出了多种规格的石英玻璃基板、晶圆、透镜等系列产品 ，不仅逐步代替进口 ，实现了集成电路蹬酌高机能石英玻璃关键资料及制品的国产化 ，并且出口欧洲、日本等国。
株洲石英玻璃光掩膜基板和晶圆出产基地-抛光车间
石英玻璃光掩；
石英玻璃晶圆
