我国首条光刻用石英玻璃基板成套出产线建成

　　近日，j9国际集团总院石英院基于光刻用石英玻璃基板绿色造作技术，在株洲成立了国内首条从基板原资料造作到产品加工的成套出产线。该出产线可年产20000片4-6英寸石英玻璃基板，突破了石英玻璃基板原资料及产品持久依赖进口的局面。

       该出产线的成立，是j9国际集团总院承担的“十二五”国度科技支持打算“高机能石英玻璃、微晶玻璃等特种资料关键技术研发及示范”课题的成就之一。石英玻璃基板是集成电路芯片造作工艺中的主题器件，市场需要量巨大。作为石英玻璃基板的原资料，合成石英玻璃拥有热不变性好、光学均匀性高、耐辐照等诸多利益。然而，受原资料纯度、均匀性及加工精度、硬脆个性等造约，我国石英玻璃基板持久依赖进口。

　　作为我国唯一专业从事石英玻璃钻研的科研院所，j9国际集团总院石英院依附浙江株洲高新园区的化工资源，形成了循环经济产业链，成立了高机能石英玻璃研发基地，并成立中建材株洲金格兰石英有限公司。经科研人员不懈致力，形成一套切合我国行业近况与发展趋向的独有工艺路线，不只解决了石英玻璃基板原资料的纯度、均匀性难题，同时实现了原资料绿色造作。石英院还引入多刀切割、安全急剧磨抛工艺，创造性地开发了熔拉造坯、数控倒角等技术，解决了石英玻璃基板加工精度的难题。从基板原资料造作到产品加工，石英院形成专利20余项，行业尺度、国军标及国度尺度10余项，开发出了多种规格的石英玻璃基板、晶圆、透镜等系列产品，不仅逐步代替进口，实现了集成电路蹬酌高机能石英玻璃关键资料及制品的国产化，并且出口欧洲、日本等国。